飛行時間型二次イオン質量分析装置
| 設備ID | SH-006 |
|---|---|
| 分類 | 質量分析 > 飛行時間質量分析 |
| 装置名称 | 飛行時間型二次イオン質量分析装置 (Time of flight secondary ion mass spectroscopy) |
| 設置機関 | 信州大学 |
| 設置場所 | 信州大学 長野（工学）キャンパス 国際科学イノベーションセンター |
| メーカー名 | TOF.SIMS5-ADSD-100 (ION-TOF) |
| 型番 | TOF.SIMS5-ADSD-100 |
| キーワード | 微量表面分析 無機・有機材料 スパッタプロファイル |
| 仕様・特徴 | 高質量分解能パルス圧縮モード：最小スポット径600nm 高空間分解能モード：最小スポット径120nm バーストモード：質量分解能と空間分解能を両立 µm2からcm2まで測定可能 深さ分解能 ： 1nm 以下 質量分解能>11,000 @29u (FWHM) |
