室温プローバー [MX-200/B]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-630 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | 室温プローバー [MX-200/B] (Room Temp. Prober [MX-200/B]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | ベクターセミコン,アジレント・テクノロジー (Vector Semiconductor,Agilent Technologies) |
| 型番 | MX-200/B，B1500A |
| キーワード | 電気伝導、プローバー、半パラ、I-V、C-V、デバイス、電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・用途：I-V/C-V特性評価 ・プローブ：同軸プローブ ・マニピュレータ：4基 ・I-V測定端子：4ユニット ・C-V測定端子：1ユニット ・最大試料サイズ：φ4inch ・その他：試料ステージ電圧印加可，除振台／シールドボックス装備 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-630 |
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