X線光電子分光装置
| 設備ID | JI-013 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 装置名称 | X線光電子分光装置 (XPS) |
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST） |
| 設置場所 | JAISTマテリアルサイエンス系研究棟III |
| メーカー名 | 島津クレートス (Shimadzu/Kratos) |
| 型番 | AXIS- ULTRA DLD |
| キーワード | 化学状態分析、組成分析、X線光電子分光、XPS、ケミカルシフト、UPS、紫外線光電子分光 |
| 仕様・特徴 | 測定可能元素 Li～U X線源 Mg/Al 特性X線、AlKαモノクロメータX線 紫外光源：He放電管 最小プローブ 40μmφ 分析深さ 数nm 最大試料サイズ 100mm（X）×25mm（Y）×10mm（Z） イメージング 空間分解能 3μm以下 元素像および化学状態像 深さ分析可能 エッチングイオン銃使用 傾斜分析可能 0～90°・紫外光分光分析（UPS）可能 |
