走査型オージェ電子分光顕微鏡
| 設備ID | JI-011 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > オージェ電子分光 |
| 装置名称 | 走査型オージェ電子分光顕微鏡 (SAM) |
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST） |
| 設置場所 | JAISTマテリアルサイエンス系研究棟I |
| メーカー名 | アルバック・ファイ (ULVAC-PHI) |
| 型番 | SAM670Xi |
| キーワード | 表面敏感、局所元素分析、組成分布観察、組成分析、状態分析、元素分析、ナノ材料、半導体、金属、薄膜、表面分析、走査型顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 元素分析：原子番号3以上 最大加速電圧：25kV 走査電子ビーム径：15nm以下（加速電圧20kV、電流１nA） エネルギー分析：0-3200 eV 超高真空 |
