低加速走査電子顕微鏡
| 設備ID | JI-010 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 透過電子顕微鏡 > 低エネルギー電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 低加速走査電子顕微鏡 (FE-SEM) |
| 設置機関 | 北陸先端科学技術大学院大学（JAIST） |
| 設置場所 | JAISTナノマテリアルテクノロジーセンター |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | Regulus8230 |
| キーワード | 低加速電子線 表面観察 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 【遠隔利用可】 加速電圧：0.5-30kV（照射電圧0.01-20kV） 分解能：0.6nm at 15kV EDX、EBSD、PD-BSE、EBIC |
