ダイシングソー [DAD322]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-629 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ダイシングソー [DAD322] (Dicing Saw [DAD322]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | ディスコ (DISCO) |
| 型番 | DAD322 |
| キーワード | ダイシング、小片化、チップ、ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | ・用途：各種基板の小片化 ・切削刃：ダイヤモンドブレード ・切削範囲：XY：162mm以下 ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：オート／セミオート／マニュアルアライメント機能 ・その他：3Dマッピング機能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-629 |
![ダイシングソー [DAD322]](data/facility_item/NM-629.jpg)