電子線元素状態分析装置
| 設備ID | UE-011 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 装置名称 | 電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer) |
| 設置機関 | 電気通信大学 |
| 設置場所 | 東6号館1F145 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8530F |
| キーワード | EPMA、電子線プローブマイクロアナライザー（EPMA）/ Electron probe microanalysis |
| 仕様・特徴 | 最高加速電圧: 200kV, 倍率: ×50-1,500,000 格子分解能: 0.1nm, 点分解能: 0.23nm, STEMモード: 0.2nm |
