電子線元素状態分析装置
最終更新日：2024年8月5日
| 設備ID | UE-011 |
|---|---|
| 分類 | 表面分析（深さ方向元素分析を含む） > 電子線プローブマイクロアナライザー(EPMA) |
| 設備名称 | 電子線元素状態分析装置 (Electron Probe Micro Analyzer) |
| 設置機関 | 電気通信大学 |
| 設置場所 | 東6号館1F145 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JXA-8530F |
| キーワード | EPMA、電子線プローブマイクロアナライザー（EPMA）/ Electron probe microanalysis |
| 仕様・特徴 | 固体試料表面の元素分析 ・分析元素範囲 WDS: B～U、EDS: B～U ・二次電子分解能 3 nm (WD=11 mm、30 kV) ・分析条件最小プローブ径：40 nm (10 kV、1x1x10-8 A) ・走査倍率：x 40～ x 300,000 (WD=11 mm) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=UE-011 |
