FormFactor 300mm ウェハプローバ
| 設備ID | IT-036 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > その他 |
| 装置名称 | FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | FormFactor (FormFactor) |
| 型番 | CM300 |
| キーワード | オンウェハでの特性評価 |
| 仕様・特徴 | チップ~ 300mmウェハ対応プローバー 単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定 |
