FormFactor 300mm ウェハプローバ
最終更新日：2024年10月1日
| 設備ID | IT-036 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > その他 |
| 設備名称 | FormFactor 300mm ウェハプローバ (FormFactor 300mm Wafer Prober) |
| 設置機関 | 国立大学法人 東京科学大学（旧：国立大学法人 東京工業大学） |
| 設置場所 | 科学大（旧：東工大）大岡山キャンパス |
| メーカー名 | FormFactor (FormFactor) |
| 型番 | CM300 |
| キーワード | オンウェハでの特性評価 |
| 仕様・特徴 | チップ~ 300mmウェハ対応プローバー 単枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静/動特性測定 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=IT-036 |
