東京エレクトロン300mm ウェハプローバ
最終更新日：2024年10月1日
| 設備ID | IT-035 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > その他 |
| 設備名称 | 東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober) |
| 設置機関 | 国立大学法人 東京科学大学（旧：国立大学法人 東京工業大学） |
| 設置場所 | 科学大（旧：東工大）大岡山キャンパス |
| メーカー名 | 東京エレクトロン (Tokyo Electron) |
| 型番 | PrecioNanoPV00043 |
| キーワード | オンウェハでの特性評価 |
| 仕様・特徴 | 150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー 多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=IT-035 |
