東京エレクトロン300mm ウェハプローバ
| 設備ID | IT-035 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > その他 |
| 装置名称 | 東京エレクトロン300mm ウェハプローバ (Tokyo Electron 300mm Wafer Prober) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | 東京エレクトロン (Tokyo Electron) |
| 型番 | PrecioNanoPV00043 |
| キーワード | オンウェハでの特性評価 |
| 仕様・特徴 | 150mm, 200mm, 300mmウェハ対応プローバー 多数枚自動測定対応、シリコンフォトニクス受動デバイス静特性測定 |
