ダイシングソー及びダイシング補助装置
| 設備ID | IT-027 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 装置名称 | ダイシングソー及びダイシング補助装置 (Dicing saw and dicing support apparatus) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | ディスコ (Disco) |
| 型番 | DAD322 |
| キーワード | 基板切り分け、ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | φ6インチ 切削可能範囲 x軸160mm y軸162m z軸32.2mm（φ2ブレード時） UV照射装置およびウェハ拡張装置 ヒューグルエレクトロニクス HUV-0608/HS-1840（6インチダイシングフレーム（ディスコDTF2-6-1互換）設置可）によるダイシング前後処理も可能 |
