エリプソメーター [MARY-102FM]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-625 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | エリプソメーター [MARY-102FM] (Ellipsometer [MARY-102FM]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | ファイブラボ (five Lab) |
| 型番 | MARY-102FM |
| キーワード | エリプソメータ、膜厚測定、屈折率、薄膜、マッピング、分布、エリプソメーター/ Ellipsometer、膜厚測定/ Film thickness measurement |
| 仕様・特徴 | ・用途：絶縁膜形成評価 ・光源：632nm He-Neレーザー ・ビーム径：0.8mm ・入射角：50°，60°，70° ・最大試料サイズ：φ6inch |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-625 |
![エリプソメーター [MARY-102FM]](data/facility_item/NM-625.jpg)