スパッタ成膜装置(絶縁膜用）
| 設備ID | IT-018 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 装置名称 | スパッタ成膜装置(絶縁膜用） (Insulator Sputtering machine) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | ケーサイエンス (K-science Inc) |
| 型番 | KS-702KAM |
| キーワード | 金属薄膜形成、スッパタリング（スパッタ）/ Sputtering |
| 仕様・特徴 | ゲージコントローラ、CDGコントローラ装備 ・膜厚計装備 ・スパッタコントローラ装備 ・SiN、Ta2O3、SiO2 最大2インチ程度まで |
