高真空Eガン蒸着装置
| 設備ID | IT-009 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 装置名称 | 高真空Eガン蒸着装置 (High-vaccum electon beam evaporator) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | エイコーエンジニアリング ( Eiko-engineering) |
| 型番 | 特注品 |
| キーワード | 金属薄膜形成、蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | ロードロックチャンバ付 6連E-gun 6kW 3連EBガン×2 到達真空度: 5e-8Torr以下 基板サイズ: 20mm角まで 蒸着原材料: Ti,Pd,Ni,Cr,Au |
