3連Eガン蒸着装置
| 設備ID | IT-008 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 装置名称 | 3連Eガン蒸着装置 ( Elecrton beam evaporator with 3 pocket) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | アルバック ( Ulvac) |
| 型番 | EX-300 |
| キーワード | 金属薄膜形成、蒸着（抵抗加熱、電子線）/ Evaporation (resistance heating and electron beam) |
| 仕様・特徴 | 300mm対応 高速排気 |
