走査型電子顕微鏡
| 設備ID | IT-007 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | 日立 (Hitachi) |
| 型番 | S4500 |
| キーワード | 微細構造観察、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 電界放出型 ・冷陰極電界放出型電子銃 ・分解能：1.5 nm （加速電圧 15 kV WD=4mm） 4.0 nm （加速電圧1 kV WD=3mm) ・試料サイス:最大50 mm (直径) |
