走査型電子顕微鏡
最終更新日：2024年10月1日
| 設備ID | IT-006 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 国立大学法人 東京科学大学（旧：国立大学法人 東京工業大学） |
| 設置場所 | 科学大（旧：東工大）大岡山キャンパス |
| メーカー名 | 日立 (Hitachi) |
| 型番 | S5200 |
| キーワード | 微細構造観察、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 高解像度用インレンズ式高解像度用インレンズ式 加速電圧1ｋV~30kV 分解能0.5nm(30kV）~1.7nm（1kV) 倍率X100~X2000K STEMモード可 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=IT-006 |
