走査型電子顕微鏡
| 設備ID | IT-006 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 走査型電子顕微鏡 (scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 東京工業大学 |
| 設置場所 | 東工大大岡山キャンパス |
| メーカー名 | 日立 (Hitachi) |
| 型番 | S5200 |
| キーワード | 微細構造観察、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 高解像度用インレンズ式高解像度用インレンズ式 加速電圧1ｋV~30kV 分解能0.5nm(30kV）~1.7nm（1kV) 倍率X100~X2000K STEMモード可 |
