レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000]
最終更新日:2024年2月29日
設備ID | NM-623 |
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分類 | 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡 |
設備名称 | レーザー顕微鏡 [LEXT OLS4000] (Laser Microscope [LEXT OLS4000]) |
設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
メーカー名 | オリンパス (OLYMPUS) |
型番 | LEXT OLS4000 |
キーワード | レーザー顕微鏡、微分干渉、形状測定、観察、計測、共焦点レーザー走査型顕微鏡/ Confocal laser scanning microscopy |
仕様・特徴 | ・用途:非接触3次元形状観察 ・計測・光源:405nm半導体レーザー ・分解能:XY:0.12μm/Z:0.01μm ・繰り返し性:XY:3σ=0.02μm,/Z:1σ=0.012μm(対物レンズ100倍時) ・観察モード:レーザー観察,白色光明視野,微分干渉観察 ・試料サイズ:100mm角以下 |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-623 |