ダイシングソー
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-027 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ダイシングソー (dicing saw) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社ディスコ (DISCO Corporation) |
| 型番 | DAD321 |
| キーワード | Si、ガラス切断用 ダイシング、スクライバ |
| 仕様・特徴 | ø 6対応のマニュアルダイシングソー 最大ワークサイズ 160 x 160 切削可能範囲 X軸：192mm Y軸：162mm Z軸有効ストローク：28.2ｍｍ 回転数範囲：3,000 - 40,000RPM |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-027 |
