ダイシングソー
設備ID | WS-027 |
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分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
装置名称 | ダイシングソー (dicing saw) |
設置機関 | 早稲田大学 |
設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
メーカー名 | 株式会社ディスコ (DISCO Corporation) |
型番 | DAD321 |
キーワード | Si、ガラス切断用 ダイシング、スクライバ |
仕様・特徴 | ø 6対応のマニュアルダイシングソー 最大ワークサイズ 160 x 160 切削可能範囲 X軸:192mm Y軸:162mm Z軸有効ストローク:28.2mm 回転数範囲:3,000 - 40,000RPM |