高性能分光エリプソメータ
| 設備ID | WS-026 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 装置名称 | 高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.) |
| 型番 | UVISEL ER AGMS iHR320 |
| キーワード | 分光エリプソ エリプソメーター |
| 仕様・特徴 | 波長範囲：190-2100nm 150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ |
