高性能分光エリプソメータ
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-026 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 高性能分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometry) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社堀場製作所 (HORIBA, Ltd.) |
| 型番 | UVISEL ER AGMS iHR320 |
| キーワード | 分光エリプソ エリプソメーター |
| 仕様・特徴 | 波長範囲：190-2100nm 150mmウェハ対応、XY軸はマニュアルステージ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-026 |
