走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-622 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR] (SPM [Jupiter XR]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | オックスフォード・インストゥルメンツ (Oxford Instruments) |
| 型番 | Jupiter XR |
| キーワード | SPM、AFM、MFM、粘弾性、KPFM、ESM、EFM、LFM、走査型プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscopy |
| 仕様・特徴 | ・用途：ナノ構造の計測 ・評価・測定モード：形状測定、メカニカル測定、電気測定、磁気測定、等 ・走査範囲：90um ・ステージ可動範囲：200mm角 ・最大試料サイズ：φ8inch |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-622 |
![走査型プローブ顕微鏡 [Jupiter XR]](data/facility_item/NM-622.jpg)