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高耐圧デバイス測定装置+ 高耐圧プローバ

最終更新日:2024年4月5日
設備ID WS-022
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
設備名称 高耐圧デバイス測定装置+ 高耐圧プローバ (high votage semiconductor device analyzer)
設置機関 早稲田大学
設置場所 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター
メーカー名 プローバ:長瀬産業株式会社(特注品)測定装置:アジレント社製B1505A (NAGASE & CO., LTD.)
型番 プローバ:長瀬産業社製(特注品) 測定装置:アジレント社製B1505A
キーワード パワーデバイス用
電気特性評価
仕様・特徴 10K~600Kの真空環境下での高耐圧デバイス(2000V又は20A MAX)測定可能、25mmx25mm以下(測定範囲)
測定装置:アジレント社製B1505A
3000V までの電圧印加と高精度測定
最小パルス幅50 μs の
大電流モジュール(最大20 A)
カーブトレーサ・モードでの
デバイスのクイックチェック
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-022
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