共用設備検索

触針式段差計

設備ID	WS-021
分類	膜厚・粒度測定 > 段差計
装置名称	触針式段差計 (Stylus Profiler)
設置機関	早稲田大学
設置場所	早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター
メーカー名	ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. )
型番	プロファイラーP-15
キーワード	プロセス中のサンプルの段差確認段差計
仕様・特徴	試料サイズ150mm 3D表面形状測定器基板サイズ～6