触針式段差計
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-021 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式段差計 (Stylus Profiler) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | ケーエルエー・テンコール株式会社 (KLA Corporation. ) |
| 型番 | プロファイラーP-15 |
| キーワード | プロセス中のサンプルの段差確認 段差計 |
| 仕様・特徴 | 試料サイズ150mm 3D表面形状測定器 基板サイズ ～6 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-021 |
