FE-SEM [S-4800]
最終更新日：2024年2月29日
| 設備ID | NM-621 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | FE-SEM [S-4800] (FE-SEM [S-4800]) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 材料信頼性実験棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S-4800 |
| キーワード | SEM、観察、計測、走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・用途：ナノ加工・構造・材料の観察・計測 ・電子銃：ZrO/W 電界放射型 ・加速電圧：0.1-30kV ・2次電子像分解能：1.0nm （ノーマル：15kV），1.4nm （リターディング：1.0kV） ・試料ステージ：5軸モーター駆動 ・最大試料サイズ：φ6inch ・その他：各種試料ホルダー装備 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-621 |
![FE-SEM [S-4800]](data/facility_item/NM-621.jpg)