電界放出型 走査電子顕微鏡
設備ID | WS-013 |
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分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
装置名称 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope) |
設置機関 | 早稲田大学 |
設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
メーカー名 | 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
型番 | S5500 |
キーワード | FE-SEM 走査型電子顕微鏡 |
仕様・特徴 | 試料サイズ 平面5.0mmX9.5mmX3.5mmH 断面2.0mmX6.0mmX5.0mmH 倍率 ~×2M (高倍率モード) |