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電界放出型 走査電子顕微鏡

最終更新日:2024年4月5日
設備ID WS-013
分類 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡
設備名称 電界放出型 走査電子顕微鏡  (Field-Emission Scanning Electron Microscope)
設置機関 早稲田大学
設置場所 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター
メーカー名 株式会社 日立ハイテク  (Hitachi High-Tech Corporation)
型番 S5500
キーワード FE-SEM
走査型電子顕微鏡
仕様・特徴 試料サイズ 平面5.0mmX9.5mmX3.5mmH
断面2.0mmX6.0mmX5.0mmH
倍率 ~×2M (高倍率モード)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-013
    電界放出型 走査電子顕微鏡
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