電界放出型 走査電子顕微鏡
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-012 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | SU8240 |
| キーワード | FE-SEM 走査型電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 二次電子分解能 0.8nm （加速電圧15kV、WD＝4mm、倍率270kx） 1.1nm （照射電圧1kV、WD＝1.5mm、倍率200kx） 照射電圧 0.01～30kV 倍率 20～1,000,000倍 可動範囲:X 0～110mm,Y 0～80mm,R 360° Z 1.5～40mm,T -5～70° IM4000形イオンミリング装置付き（サンプルの断面ミリングと平面ミリング可能） EDS System付き（元素分析可能） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-012 |
