電界放出型 走査電子顕微鏡
| 設備ID | WS-011 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 電界放出型 走査電子顕微鏡 (Field-Emission Scanning Electron Microscope) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | 株式会社 日立ハイテク (Hitachi High-Tech Corporation) |
| 型番 | S-4800 |
| キーワード | FE-SEM 走査型電子顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | 試料サイズ最大20mm角 セミインレンズ方式による高分解能（～x600k） EDAXによる元素分析 |
