プラズマアッシャー
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | WS-006 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | プラズマアッシャー (Plasma Asher) |
| 設置機関 | 早稲田大学 |
| 設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
| メーカー名 | ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.) |
| 型番 | PR500 |
| キーワード | 表面処理・クリーニング プラズマ処理 |
| 仕様・特徴 | 使用ガス：O2ガス 試料サイズ：φ4インチ以下 用途：レジストの灰化除去 ドライエッチング後のO2アッシング） 有機系汚染物質のクリーニング Si表面の親水化処理等 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=WS-006 |
