プラズマアッシャー
設備ID | WS-006 |
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分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
装置名称 | プラズマアッシャー (Plasma Asher) |
設置機関 | 早稲田大学 |
設置場所 | 早稲田大学121号館ナノテクノロジーリサーチセンター |
メーカー名 | ヤマト科学株式会社 (Yamato Scientific Co., Ltd.) |
型番 | PR500 |
キーワード | 表面処理・クリーニング プラズマ処理 |
仕様・特徴 | 使用ガス:O2ガス 試料サイズ:φ4インチ以下 用途:レジストの灰化除去 ドライエッチング後のO2アッシング) 有機系汚染物質のクリーニング Si表面の親水化処理等 |