超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM)
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | AT-506 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線蛍光分光分析 |
| 設備名称 | 超伝導蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡 (SC-SEM) (Scanning Electron Microscope with a Superconducting Tunnel Junction X-ray Detector (SC-SEM)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | 産業技術総合研究所 |
| メーカー名 | ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JEOL (・Detector: AIST Original ・SEM: JEOL) |
| 型番 | ・検出器：産総研自主開発 ・顕微鏡：JSM-IT800SHLs |
| キーワード | 軽元素分布 X線蛍光分光分析/ X-ray fluorescence spectroscopy 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 高感度、高分解能の超伝導検出器を搭載した、蛍光X線検出器付走査型電子顕微鏡。 電子線で試料上を走査する際に放出される蛍光X線を測定することにより、主に軽元素の分布状態を評価できる。半導体エネルギー分散型検出器、シンチレーション型反射電子検出器も搭載。試料を冷却しながらの計測も可能。大気非暴露搬送、装置内での昇華、割断、コーティングが可能。 ・蛍光X線エネルギー範囲： 40 eV-4 keV（超伝導）、200 eV- 20 keV（半導体） ・エネルギー分解能： ～7 eV@400 eV X-ray（超伝導）、 ＜56 eV@C-Ka （半導体） ・計数率：200 kcps ・走査型電子顕微鏡：JEOL JSM-IT800SHLs ・加速器電圧範囲：10 V-30 kV ・最大サンプルサイズ：Φ100 ㎜、Φ10 ㎜（冷却時） ・2次電子最高空間分解能：0.6 nm程度@15 kV, 1.1 nm程度@1 kV ・試料最低冷却温度：－190℃以下 ・機械式ヘリウム3冷凍機を用いて簡単に冷却でき、長時間の測定可能 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-506 |
