リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM)
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | AT-504 |
|---|---|
| 分類 |
走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > 赤外分光 回折・散乱 > 電子回折 |
| 設備名称 | リアル表面プローブ顕微鏡(RSPM) (Real Surface Probe Microscope (RSPM) ) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | 産業技術総合研究所 |
| メーカー名 | (1) RSPM1: 日本電子、(2) RSPM2: SII（現・日立ハイテクサイエンス） ((1) RSPM1: JEOL, (2) RSPM2: SII (Hitachi Hitech Scinece)) |
| 型番 | (1) RSPM1:日本電子(JEOL)社製JSPM5400、(2) RSPM2:SIIナノテクノロジー（現・日立ハイテクサイエンス）社E-SWEEP/S-Image |
| キーワード | ナノ構造3次元測定、溶液リアルタイム観察、ナノ赤外分光、実環境表面電位測定、低エネルギー電子回折 走査型プローブ顕微鏡、NanoIR、SPM、弾性率、AFM、STM |
| 仕様・特徴 | (1) RSPM1 分光（赤外）原子間力顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡 ・型式: NEA SNOM ・設置室名: 2-1D棟125室 ・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、高分解能赤外分光 ・測定環境: 大気中 ・試料サイズ:（10mm角）や厚さの制限有 ・空間分解能<100nmのナノ赤外分光（Nano-FTIR） (2) RSPM2 E-SWEEP/NEX(高速原子間力顕微鏡) ・測定機能: AM-AFM、コンタクトモード、STM、KFM、Conductive-AFM ・制御装置: 1台のNanonaviをS-ImageおよびE-SWEEPで切り替えて利用 ・測定環境: 大気中、恒湿度雰囲気(20～70%)、液中、真空中(10E-5[Torr]) ・温度範囲(E-SWEEP): -100 ℃ ～ 300 ℃(ヒータのみ、制御なし) ・試料サイズ: 最大15 mm角程度 ・液中リアルタイム測定可能（毎秒10フレーム） 前処理装置等 ・標準試料: 探針評価、スケール、段差等 ・付帯設備 研磨機、プラズマクリーナ、白色干渉計、反射分光膜厚計、化学ドラフト、フーリエ赤外分光計（ATRのみ）、レーザードップラー干渉計（カンチレバーのばね定数校正） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-504 |
