超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS)
| 設備ID | AT-502 |
|---|---|
| 分類 | 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > エックス線吸収端構造解析 （nearedgeを含む） |
| 装置名称 | 超伝導蛍光収量Ｘ線吸収微細構造分析装置 (SC-XAFS) (X-ray Absorption Fine Structure Spectroscopy with a Superconducting Fluorescence Detector (SC-XAFS)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | 産業技術総合研究所 |
| メーカー名 | 産総研自主開発 (AIST Original) |
| 型番 | |
| キーワード | ナノ局所構造 電子状態 |
| 仕様・特徴 | エネルギー分散超伝導検出器を搭載し、母材中の微量軽元素や重い元素のL、M線のＸ線吸収微細構造測定により、特定の微量元素の原子スケール構造解析を行う。省エネ半導体ドーパント、酸化物、磁性体などの原子配位や電子状態を評価する。 ・蛍光Ｘ線エネルギー分解能 ： 10 eV ・エネルギー範囲 ： 70eV-5000eV(<1keV:超伝導､> 2keV:半導体) ・アレイ検出器素子数 ：100 ・光子計数率 ： 1 Mcps ・冷却 ： 液体ヘリウムを使用せず機械式冷凍機による自動冷却（0.3K) |
