６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック）
| 設備ID | AT-109 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 装置名称 | ６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） (Electeron Beam Vacuum Evaporator) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | アールデック (R-DEC) |
| 型番 | ADS-E86 |
| キーワード | 成膜 EB蒸着 真空蒸着 蒸着（電子線）/ Evaporation (electron beam) |
| 仕様・特徴 | ・型式:ADS-E86 ・試料サイズ:8インチφ ・蒸着方式:電子ビーム加熱蒸発 ・蒸発源:6連装（6 kW） ・クルーシブル容量:12 ml ・基板ホルダ:冷却機構付(水冷) ・蒸発源―基板間:500 mm ・試料導入:ロードロック自動搬送 ・真空排気システム:到達圧力1×10-5 Pa以下、オイルフリー、自動排気 ・成膜:水晶振動子膜厚モニタによる自動制御 ・膜厚分布:10 %以内@200mm ・常設ソース材料: Al, Al, Cu, Ti, |
