3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス）
| 設備ID | AT-107 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス） (3 Dimensional Field Emission SEM) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | エリオニクス (ELIONIX) |
| 型番 | ERA-9200 |
| キーワード | FE-SEM 電界放出型電子銃 微細構造 3次元立体画像 オゾンクリーナー 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・型式:ERA-9200 ・試料サイズ:4インチφ, 16mmt ・電子銃:ZrO/W熱電界放射型 ・加速電圧:1～30 kV ・リタ―ディング電圧:3kV ・分解能:0.4nm以下（30kV）、0.5nm以下（15kV）、0.7nm以下（1kV） ・可動範囲:30×50mm（X-Y）、1～30mm（Z）、-5～45°（Tilt） ・検出器:2次電子検出器（４本） |
