解析用PC（CAD及び近接効果補正用）
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-094 |
|---|---|
| 分類 | 理論計算・シミュレーション > CAD |
| 設備名称 | 解析用PC（CAD及び近接効果補正用） (PC (PEC and CAD)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | ジェニシス (GenISys) |
| 型番 | BEAMER |
| キーワード | CAD 近接効果補正 パターン分割最適処理 輪郭分離処理 |
| 仕様・特徴 | ・型式:BEAMER ・近接効果補正 ・パターン分割処理 ・輪郭分離処理 ・PSFシミュレーション |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-094 |
