高圧ジェットリフトオフ装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-092 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > ウェット処理 |
| 設備名称 | 高圧ジェットリフトオフ装置 ((High Pressure Jet Lift-off Equipment) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | カナメックス (Kanamex) |
| 型番 | KLO-150CBU |
| キーワード | 自動リフトオフ 高圧ジェット剥離 N-メチル-2-ピロリドン NMP |
| 仕様・特徴 | ・型式:KLO-150CBU ・試料サイズ:小片20mm□～150mmφ ・回転数:0～2000rpm ・NMP処理温度:80℃ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-092 |
