電界放出形走査電子顕微鏡［S4500/FE-SEM］ （２F）
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | AT-088 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 電界放出形走査電子顕微鏡［S4500/FE-SEM］ （２F） (Field Emission SEM (HITACHI S-4500)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S4500 |
| キーワード | 走査型電子顕微鏡 SEM 電界放出形走査型電子顕微鏡 FE-SEM |
| 仕様・特徴 | ・型式:S-4500 ・試料サイズ:50 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5～30 kV ・分解能:1.5 nm (加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X:0～25 mm、Y:0～25 mm、Z:3～28 mm、R:360°、T:-5～45° ・検出器:2次電子検出器(2系統) |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-088 |
