マニュアルウエハープローバー（２F）
| 設備ID | AT-086 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | マニュアルウエハープローバー（２F） (Manual Wafer Prober) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | MJCKEYTHLEYHP (MJCKEYTHLEYHP) |
| 型番 | MJC_708fT-0114200SCSHP4284A |
| キーワード | マニュアルプローバ 電気特性評価 デバイス特性 |
| 仕様・特徴 | ・型式:MJC_708fT-011（マニュアルプローバ） ・試料サイズ:75～200 mmφ、 10～30 mm□ ・300 mmウェーハ:中央付近のみ測定可能 ・小片試料:0.5インチΦ（専用チャック） ・ステージトラベル:X, Y ±110 mm (取り出し用ストローク含まず) ・サブステージトラベル:X, Y ±5 mm (マイクロメータ駆動) ・Zトラベル:0, 0.3, 3.5 mm固定+3 mm ・プローブ接続:リモートセンシング対応(Force, Sence独立配線) ・プローブ数:3系統+チャックテーブル1系統 ・プローブ先端径:R=12.5μm KEITHLEY 4200-SCS ・SMU搭載数:4200-SMU(4200-PA付き)×4 ・電流分解能:0.1fA～100pA ・最大電流:±100mA ・電圧レンジ:200mV～210V(4レンジ) HP4284A LCRメータ |
