薄膜エックス線回折装置
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最終更新日：2024年8月29日
| 設備ID | AT-071 |
|---|---|
| 分類 | > |
| 設備名称 | 薄膜エックス線回折装置 (Thin Film X-ray Diffractometer 〔ATX-G, RIGAKU〕) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | リガク (Rigaku) |
| 型番 | ATX_G |
| キーワード | インプレーン測定 結晶性 格子定数 配向性 組成 歪 膜厚評価 超格子の周期の解析 逆格子強度マップ測定 Ｘ線回折 |
| 仕様・特徴 | ・型式:ATX_G型 ・試料サイズ:120mmφ, 10mmt ・ステージ:4軸ゴニオメータ（インプーレーン測定） 入射光学系 ・定格出力:50kV,300mA ・多層膜放物面モノクロメータ付 ・ゲルマニウム4結晶モノクロメーター付 |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-071 |
