X線回折装置(XRD)
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-070 |
|---|---|
| 分類 | 回折・散乱 > X線回折 |
| 設備名称 | X線回折装置(XRD) (X-ray Diffractometer（XRD）) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | リガク (Rigaku) |
| 型番 | Ultima_Ⅲ |
| キーワード | Ｘ線回折 薄膜 粉体 インプレーン測定 逆格子マップ 結晶子サイズ 結晶粒サイズ 結晶化度 |
| 仕様・特徴 | ・型式:Ultima_III ・試料サイズ: 100mmφ×9mm ・試料ステージ:水平型(インプレーン測定機構付) ・傾斜多層膜放物面モノクロメータ付 ・チャンネルカットモノクロメータ ・ 受光モノクロメータ ・ 6試料交換装置 ・小角散乱光学系等の利用可 ・ 試料形態:薄膜、粉 ・ソフトウエア：定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-070 |
