分光エリプソメータ
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-063 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > エリプソメーター |
| 設備名称 | 分光エリプソメータ (Spectroscopic Ellipsometer) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 堀場 Jovin-Yvon (Horiba Jovin-Yvon) |
| 型番 | UVISEL-M200-FUV-FGMS |
| キーワード | 分光エリプソメータ 膜厚 屈折率 消衰係数 薄膜 多層膜構造 |
| 仕様・特徴 | ・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS ・試料サイズ:150mmφ ・ステージ上下調整幅:20mm ・波長範囲:190～826nm（1.5～6.5eV） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-063 |
