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短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]

設備ID AT-060
分類 光学顕微鏡 > 共焦点レーザー走査型顕微鏡
装置名称 短波長レーザー顕微鏡[VK-9700] (Laser Microscope〔VK-9700〕)
設置機関 産業技術総合研究所(AIST)
設置場所 AISTつくば中央 2-12棟
メーカー名 キーエンス (KEYENCE)
型番 VK-9700
キーワード 共焦点レーザー走査型顕微鏡
レーザー顕微鏡
超深度画像
3次元解析
仕様・特徴 ・型式:VK-9700 Generation II(キーエンス社製)
・試料サイズ:100mmφ
・倍率:最大18000倍
・分解能:1 nm(Z方向、高さ)
・高さ測定範囲:7 mm
・表示分解能:0.001 μm
・幅測定表示分解能:0.001 μm
・フレームピクセル数:2048×1536
・モノクロ映像:14 bit
・カラー映像:RGB各8 bit、高さ測定用:24 bit
・光学ズーム:1x~6x
・測定レーザー:波長408 nm、最大出力0.9 mW
・受光:光電子増倍管
・観測:100 Wハロゲン光源
・撮像素子:カラーCCDイメージセンサ
    短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
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