デバイス容量評価装置
| 設備ID | AT-052 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | デバイス容量評価装置 (Capacitance-Voltage (C-V) Analyzer) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | ケースレーアジレント (KeithleyAgilent) |
| 型番 | Model 82-WIN, 4284A LCRメータ |
| キーワード | 静電容量 電気的特性 C-V LCR 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・型式:Model 82-WIN（ケースレー社製）, 4284A LCRメータ（アジレントテクノロジーズ社製） ・試料サイズ:2インチ ・Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V（100kHz or 1MHz）の同時特性評価 ・4284A LCRメータ:低周波20Hz～高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価 |
