デバイスパラメータ評価装置
| 設備ID | AT-051 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | デバイスパラメータ評価装置 (Semiconductor Device Parameter Analyzer) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | アジレントテクノロジー (Agilent) |
| 型番 | 4156C |
| キーワード | デバイス特性 電気特性 デバイスパラメータ 半導体パラメータ 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・型式:4156C ・試料サイズ:150φ×10mm以下 ・最小電流レンジと測定分解能:±10 pAレンジ（電圧 0～±100 V）⇒ 1 fA ・最大電流レンジと測定分解能:±100 mAレンジ（電圧 0～±20 V）⇒ 100 nA ・最小電圧レンジと測定分解能:±2 Vレンジ（電流 0～±100 mA）⇒ 2 µV ・最大電圧レンジと測定分解能:±100 Vレンジ（電流 0～±20 mA）⇒ 100 µV |
