四探針プローブ抵抗測定装置
| 設備ID | AT-050 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 四探針プローブ抵抗測定装置 (Four Point Probe Resistance Measurement System) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | ケースレーインスツルメンツ (Keithley Instruments) |
| 型番 | K-89PS40μR, K-89PS150μR |
| キーワード | プローバ 4探針抵抗測定 電気特性評価 シート抵抗 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | ・型式:K-89PS40μR, K-89PS150μR ・試料サイズ: 4インチ□ ・プローブ材質:タングステンカーバイト ・針間:1mm ・プローブ径:40μm, 150μm ・針圧:約800g, 約200g ・ステージZ軸移動:40mm(ラックピニオン式) ・針圧調整:ウエイト加減方式 ・デジタルソースメータ(抜粋) 最大印加電圧 ±210V, 電流 ±1.05A(MAX 21V), ±1.05mA(MAX 210V) 最小設定分解能 5μV(200mVレンジ), 50 pA(1μAレンジ) |
