ナノプローバ[N-6000SS]
| 設備ID | AT-049 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | ナノプローバ[N-6000SS] (NanoProber〔N-6000SS〕) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | N-6000SS |
| キーワード | 冷陰極電界放出型走査電子顕微鏡（FE-SEM） ナノプローブ 一次元ナノワイヤー グラフェン CNT CNTバンドル 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | ・型式:N-6000SS ・試料サイズ:15mm×15mm、厚さ1mm以下 ・試料ステージ:加熱・冷却機能付 ・可動範囲:15mm×15mm以上 ・付加機能:EBAC（Electron Beam Absorbed Current） プローブユニット ・ユニット数:6本（探針数） ・駆動方式:ピエゾ素子使用 ・微動範囲:5μm（X,Y軸） ・粗動範囲:5mm（X,Y軸） 電子光学系 ・電子銃:冷陰極電界放出型電子顕微鏡 ・加速電圧:0.5～5kV （※EBACモード:最大30kV） ・イメージシフト:±100μm以上（2kV、WD=15mm） デバイスアナライザ ・型式:B1500（Agilent製） ・モジュール:B1520A MFCMU [1KHz～5MHz CV機能] B1517A HRSMU [100mA/42V 電流/電圧出力、1fA/0.5μV電流/電圧測定分解能] |
![ナノプローバ[N-6000SS]](data/facility_item/AT-049.jpg)