ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-048 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 設備名称 | ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] (Scanning Probe Microscope 3〔SPM3, SFT-3500, Nano Search Microscope〕) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 島津製作所 (SHIMADZU) |
| 型番 | SFT_3500 |
| キーワード | 走査型プローブ顕微鏡 原子間力顕微鏡 SPM レーザ顕微鏡 |
| 仕様・特徴 | ・型式:SFT_3500 ・試料サイズ:6インチφ、最大高さ:54.5mm ・ステージストローク:100×100mm LSM部 ・観察視野:2,560μm～21μm ・対物レンズ:5×, 20×, 100× （光学ズーム 1×～6×） SPM部 ・最大走査範囲:30μm（X,Y）、4μm（Z） ・垂直分解能：0.1nm程度 ・検出方式:光てこ方式 ・測定モード:ダイナミックモード（タッピングモード）、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-048 |
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