走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100]
| 設備ID | AT-046 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型プローブ顕微鏡 |
| 装置名称 | 走査プローブ顕微鏡SPM_1[NanoscopeⅣ/Dimension3100] (Scanning Probe Microscope 1 (SPM1, NanoscopeIV/Dimension 3100)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | デジタルインスツルメンツ (Veeco/Digital Instruments ) |
| 型番 | NanoscopeⅣ/Dimension3100 |
| キーワード | 原子間力顕微鏡 AFM 磁気力顕微鏡 MFM 走査型プローブ顕微鏡/ Scanning probe microscopy |
| 仕様・特徴 | ・型式:NanoscopeⅣ/Dimension3100（Veeco社製） ・試料サイズ:150 mm以内（面範囲）、12 mm（高さ範囲） ・試料固定:真空チャック ・測定範囲:90 μm×90 μm（面範囲）、6 μm以内（高さ範囲） ・測定精度:最大2%（最大レンジ幅） |
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