触針式段差計
最終更新日：2024年4月5日
| 設備ID | AT-045 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式段差計 (Contact Profiler) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | KLA テンコール (KLA-Tencor) |
| 型番 | Alpha-Step IQ |
| キーワード | 膜厚 スタイラス 段差 表面粗さ うねり 段差計/ Step meter |
| 仕様・特徴 | ・型式:Alpha-Step IQ ・試料サイズ:4インチ ・測定再現性:1σ≤8Å ・膜厚測定範囲:400 μm ・走査距離:最大10mm ・走査速度:2～200 μm /sec ・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec ・測定レンジ:20, 400 μm ・針圧設定範囲:1～100 mg |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-045 |
