ウェハー酸化炉
| 設備ID | AT-041 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 酸化 |
| 装置名称 | ウェハー酸化炉 (Oxidation Furnace) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | マテルス (MATELS) |
| 型番 | MAT-200KS |
| キーワード | 熱酸化 酸化/ Oxidation ドライ酸化 ウェット酸化 熱酸化膜 |
| 仕様・特徴 | ・型式:MAT-200KS ・試料サイズ:最大4インチφ×25枚(長さ150 mm) ・ヒーター:カンタルRAC200,220L×3ゾーン ・常用温度:1100 ℃（到達時間:2時間） ・温度分布:1100 ℃±2 ℃(範囲長さ200 mm) ・炉心管:石英、136 mmΦ×長さ1090 mm ・試料室:ドライ、ウェット雰囲気 ・使用ガス:O2, N2, H2O |
