二次イオン質量分析装置(D-SIMS)
最終更新日：2022年6月14日
| 設備ID | AT-038 |
|---|---|
| 分類 | 質量分析 > 四重極質量分析 |
| 設備名称 | 二次イオン質量分析装置(D-SIMS) (Secondary Ion Mass Spectrometer (D-SIMS)) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | アルバックファイ (ULVAC PHI) |
| 型番 | ADEPT-1010 |
| キーワード | SIMS 二次イオン質量分析 深さ元素分析 組成分析 同位体 |
| 仕様・特徴 | ・型式:ADEPT-1010 ・試料サイズ:50mmφ ・一次イオン: O2（加速電圧 0.25-8.0kV）、Cs（加速電圧 0.25-11.0kV） ・ビーム径:75μmφ以下 ・二次イオン質量分析計:四重極型 ・分析モード:質量スペクトル測定、ライン分析、デプスプロファイル、二次イオンイメージ像 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-038 |
