クロスセクションポリッシャー(ALD付帯)
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | AT-032 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（断面加工） |
| 設備名称 | クロスセクションポリッシャー(ALD付帯) (Cross Section Polisher) |
| 設置機関 | 産業技術総合研究所（AIST) |
| 設置場所 | AISTつくば中央 2-12棟 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | IM4000 |
| キーワード | イオンミリング アルゴンミリング 断面加工 フラットミリング |
| 仕様・特徴 | ・型式:IM4000 ・試料サイズ:15mm(W)×15mm(D)×7mm(H) ・イオンガン:冷陰極ペニング型 ・使用ガス:アルゴン ・加速電圧:1～6kV ・放電電圧:1.5kV ・断面ミリングレート:100～300µm/h (加速電圧6kV時) ※材料により異なる ・スイング角度:OFF～±40° |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=AT-032 |
